探针

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Probe Pin

探针

在晶圆测试中,探针是探针卡与晶圆之间直接接触的接口,也是探针卡三大关键零组件之一(PCB、Substrate、Probe),在晶圆测试中扮演极为重要的角色。通过稳定且连续的接触测试,将电性信号自晶圆凸块接点发送至测试机台,借此判定晶圆上每一个 DUT(待测组件)的生产良率,节省后段封装成本。

晶圆测试用探针

产品说明

依产品外型不同,可分为水平式(悬臂式)探针与垂直式探针。

悬臂式探针

1. 悬臂式探针

探针针尖以水平方向对晶圆进行蚀刻或研磨,并在适当位置弯折至正确角度,使针尖能正确接触晶圆上的 PAD,将各芯片 PAD 的信号回传至测试机台,以判定每颗芯片的生产品质。

2. 垂直式探针

依循摩尔定律,半导体设计技术快速发展,芯片复杂度大幅提升。逻辑领域所使用的芯片,其接脚排列通常并不规则。要完成这类非标准布局的接脚测试,就必须使用垂直式探针卡。

COBRA PROBE 是垂直式探针卡中的内核零件。它可采用高密度垂直插置方式,克服复杂的设计与测试需求,并简化后续探针卡的维护与更换作业。

垂直式探针针尖 —— 平头型与楔形型